本系范光照教授及研究生王宏瑜、林仲豪、黃兆民之研究成果「微型三次元量測儀精度校正與量測掃描之研究」，日前參加「第二十屆全國自動化科技研討會」成果優異，於機電整合組中，獲得最佳論文獎“The Best Paper Award”。

為因應現今工業化技術由現有的精密機械技術（Precision,微米級精度）進入高精密機械技術（Ultra Precision,次微米級精度），甚至超高精密機械技術（Ultra High Precision,奈米級精度），精度達奈米級且體積微型化的三維定位平台及三維量測儀的研製可視為在奈米科技領域一重要之研究。不論奈米測量、操控或加工，都需要高精度的奈米定位平台，然而市面上具奈米等級平台往往動輒上千萬價位。

█ 由本系范光照教授及其研究團隊研製之微型三次元量測儀

本研究以阿貝原理（Abbé principle）為基礎研發出零阿貝誤差之共平面平台，量測方面並以自行研發之偏極化干涉儀（Polarizing Michelson interferometer）發展一具奈米精度之接觸式探頭，並與SIOS公司開發的奈米三次元量測儀（NMM）進行校正確認量測精度可達奈米等級。