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精密量測研究成果
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精密量測研究成果獲國際肯定

本系范光照教授及研究生王宏瑜、林仲豪、廖柏勛以研究成果“Development of a High Precision Co-planar Stage with Multi-degree-of-freedom Sensor”,日前參加日本東京“The 2nd IFToMM Asian Conference on Mechanism and Machine Science”,會議期間表現優異,獲頒最佳論文獎“The Best Paper Award”。

奈米三次元量測儀為一高精度的量測儀器,因此除了結構設計需符合阿貝原理外、組裝過程、硬體間配合與環境控制都屬於重要之環節。現今奈米級平台除了以上條件外,還依靠多組精密且昂貴感測器進行位置量測,才可達到奈米等級。

此研究中以本系自行研發之偏極化干涉儀(Polarizing Michelson interferometer)與自動化視準儀(autocollimator)的組合研製出一低成本多角度與自由度感測器MSFD(Multi-degree-of-freedom Sensor)來進行共平面位置量測。此感測器可直接量測平台位移與兩個角度的偏擺(yaw, pitch),經由量測數據進行補償,使共平面平台精度可達奈米等級。

█ 奈米三次元量測儀示意圖