本系范光照教授及研究生王宏瑜、林仲豪、廖柏勛以研究成果“Development of a High Precision Co-planar Stage with Multi-degree-of-freedom Sensor”，日前參加日本東京“The 2nd IFToMM Asian Conference on Mechanism and Machine Science”，會議期間表現優異，獲頒最佳論文獎“The Best Paper Award”。

奈米三次元量測儀為一高精度的量測儀器，因此除了結構設計需符合阿貝原理外、組裝過程、硬體間配合與環境控制都屬於重要之環節。現今奈米級平台除了以上條件外，還依靠多組精密且昂貴感測器進行位置量測，才可達到奈米等級。

此研究中以本系自行研發之偏極化干涉儀（Polarizing Michelson interferometer）與自動化視準儀（autocollimator）的組合研製出一低成本多角度與自由度感測器MSFD（Multi-degree-of-freedom Sensor）來進行共平面位置量測。此感測器可直接量測平台位移與兩個角度的偏擺（yaw, pitch），經由量測數據進行補償，使共平面平台精度可達奈米等級。

█ 奈米三次元量測儀示意圖