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實驗儀器 Instruments

  • iconDistance Measurements:
    • mark雷射干涉儀 ( Laser Interferometer):
      • 廠牌
      • HP5529A
      • 解析度
      • 0.01μm(linear)
      • 0.1arcsec(angular)
      • 用途
      • 工具機精度校正與補償，標準長度之量測及平台精度檢驗等
    • mark微型角隅干涉儀 ( Miniature Retroreflector Interferometer):

      • 廠牌
        SIOS MI-5000
        介紹
        SIOS測量技術有限公司生產的產品主要用於測量長度、角度、振動、重量、力、壓力的精密儀器。儀器中使用的計量技術為使用者提供了超高解析度、超高精度和其他優良的特性且富於創新。
        特性
        1、高精度的長度測量儀器
        2、可同使用者系統相組合的通用儀器，並適用於各種類型的工作，易於對準與使用
        3、允許角隅棱鏡進行高速運動
        4、對角隅棱鏡的角度偏斜範圍大
        5、光纖耦合的傳感測頭
        6、不產生熱干擾
        7、採用防止電磁干擾的信號接收/傳遞元件
        8、採用高度穩頻的He-Ne鐳射作為長度基準
        9、對環境因素引起的雷射波長變化進行修正

    • mark微型三光束平面鏡干涉儀 (Triple-Beam Plane-Mirror Interferometer):

      • 廠牌
        SIOS SP-2000 TR
        特性
        同時實現不同量值的超高精度測量：
        - 三軸長度測量，或
        - 兩軸長度測量加一個角度測量，或
        - 單軸長度測量加一對角度測量
        •單一雷射器為三個測量臂同時提供光束
        •光束間距經過出廠標定
        介紹
        •導軌、工作臺、顯微鏡和定位平臺的鐳射干涉測量
        •在進行雙軸或多軸長度測量時的高精度俯仰和傾側
        校正
        •校準計量設備和機床
        •差動式測量（膨脹測量，材料測試）
        •更大範圍內的角度測量（>±2’；可應特殊要求而提
        供）
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    • mark微型平面鏡干涉儀 (MINIATURE PLANE-MIRROR INTERFEROMETER):

      • 廠牌
        SIOS SP-120
        介紹
        儀器中使用的計量技術為使用者提供了超高解析度、超高精度和其他優良的特性且富於創新。
        特色
        1、高精度的長度測量儀器
        2、可同使用者系統相組合的通用儀器，並適用于各種類型的工作
        3、光纖耦合傳感測頭
        4、測量鏡可以採用平面鏡或其他反射性表面
        5、如果鏡面或其他反射表面足夠大，被測物件可以離開光軸進行運動
        6、對其他計量系統或實驗裝置不產生熱干擾
        7、光源採用He-Ne穩頻雷射
        8、對環境因素引起的鐳射波長變化進行修正
        http://www.3dfamily.com.tw/tw/editor/UploadFile/20084102323680.jpg

  • iconAngular and Taper Measurements:

    •  

    • markElectronic Level

      • 水平儀.jpg (17324 bytes)

    • markGauges (Angle Gauge, Squares, Sine bars...)

      • 直角規.jpg (14290 bytes)Square1 Cylinder Square

  • iconProfile,Roundness,and Surface Roughness Measurements:
    • mark高精度真圓度量測儀(High Precision Roundness Measuring Instrument):
      • 廠牌
      • 英國Taylor Hobson公司 Talyrond 365
      • 用途
      • 本儀器主要結構希望為水平臂探針接觸式真圓度量測，擬用來檢測精密至超精密加工件的真圓度及與圓軸相關的幾何精度，如同心度,圓柱度,偏心度,直度,部份圓,垂直度等等(愈多愈好)。可微電腦控制，為一般精密加工廠必備之儀器設備。
      • 規格
      • 旋轉台
        直徑 300mm, 氣浮軸承, 解析度0.02°, 一圈取樣點數(可選擇) 15,000(maximum)
      • 垂直軸功能 (Column)
        長度 500mm, 解析度 0.25μm
      • 水平軸功能 (Column)
        水平臂行程 200mm , 直線性精度 0.25μm, 最少位移0.05mm
        探頭球徑,量測範圍,解析度 (1, 2, 4)mm, +/-1mm, 0.03μm
      • 系統功能
        自動中心/水平調整 工件重60Kg以上
        電腦硬/軟體(CNC)  真圓度,同心度,圓柱度,偏心度,直度,部份圓,垂直度

      • DSCN8946 11

    • mark形狀量測儀 (Form Measuring Instrument)
      • 廠牌
      • 英國Taylor Hobson公司Form Taylorsurf PGI 1240
      • 用途
      • 本儀器主要結構希望為水平臂探針接觸式三維加工件表面形狀輪廓尺寸及及表面粗度量測，擬用來檢測精密至超精密加工件的形狀精度與表面粗糙度。為一般精密加工廠必備之儀器設備，如螺紋、平面、球面、非球面等。
      • 規格
      • 水平軸功能 (X)
        行程 200mm, 取樣間距0.125μm to 1μm (依行程而定), 最大直線度誤差 10nm
      • 垂直軸功能 (Z)
        量測範圍 12.5mm, 解析度 1nm, 探針尺寸: 2μm radius diamond stylus, 0.5mm radius ball, 最佳量測重覆性 0.05μm (平面,全範圍), 0.08μm (80mm球面半徑- diamond stylus), 0.12μm (80mm球面半徑- ball stylus)
      • 系統功能
        形狀誤差Max 0.2μm ( 80mm半徑球面), 系統雜訊( RMS) 1nm
        傾斜角量測不確定度 0.5 arc minute (+ / - 35度角)
        量測軟體: 任意曲面、非球面、粗糙度
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  • iconThree-Dimensional Measurements:
    • mark奈米級三次元量測儀 (3D Nano Positioning and Measuring Machine)
      • 廠牌
      • 德國SIOS公司 NMM-1
      • 介紹
        奈米定位與量測儀可在25mm×25mm×5mm的空間範圍內實現解析度為1.24nm的三維座標測量。三個微型平面鏡干涉儀SP 500、探針感測器本體、兩個角度感測器經過適當設置與安裝，使測量在所有三個方向上均消除了阿貝誤差。
      • 性能
        1、大範圍、高精度的三維定位與座標量測系統
        2、在三個測量軸上均應用了阿貝誤差的原理
        3、點到點的解析度為1.24 nm
        4、動態定位系統
        5、連續掃瞄模式或不僅模式的連續路徑控制測量系統
        6、位移時穩定性高
        7、探針感測器可根據使用者需要選取，例如：掃瞄隧道與掃瞄原子力顯微鏡、近場光學探針、電容探針和其他感測器
      • 規格
        量測範圍   (25 x 25 x 5) mm
        解析度     1nm (各軸)
        位移感測   雷射干涉儀
        量測探頭   雷射聚焦探頭
        機台尺寸   (340 x 420 x 420) mm
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  • iconOptical Measurements:
    • mark數位全像顯微鏡 (Digital Holographic Microscope)
      • 廠牌
      • 瑞士Lyncee Tec公司 DHM 1000
      • 用途
      • 本儀器主要結構希望為全像術顯微鏡，3D尺寸一次取像量出。不需要如同功能的白光干涉儀需要做垂直掃瞄才可量出全域尺寸(full field dimension).故可不受振動的干擾.
      • 規格
        1. PC, 3D曲面量測軟體,雷射光強控制
        2. 一次取得全像資料, 1024 x 1024 data, 不怕震動不需使用光學桌且容易操作
        3. 可做即時影像之動態量測 (15 frame/sec)
        4. 三軸移動台, 各6mm以上(含)行程, Z軸解析度 0.2nm
        5.垂直高度可測到350nm (視物鏡而定)
        6. 物鏡: 5X, 20X, 50X, 自動聚焦, 景深、焦深、視場依物鏡而變化
        7. 不需Z軸校正
        8. 自動水平功能
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    • mark白光干涉儀 (Optical Surface Interferometer)
      • 廠牌
      • SNU Precision Co, Ltd SIS-1000
      • 規格
      • 機台外觀
      • 大約長40cm、寬30cm、高105cm
      • 升降機構
      • Z軸升降，手動
      • 量測機構
      • 光源、CCD、干涉鏡組
      • 介紹
      • a) Non-Destructive Measurement
      • b) 3 Dimensional Surface Measurement
      • c) Multiple Field-of-view Lenses
      • d) Nanometer Level Resolution and Large Measuring
      • Range
      • e) Fast Measurement and Ease of Use
        - Just Focus and Measure
        - Fast and Convenient Loading and Setup
        - User Interface based on Windows Operating System
        - Fast and Robust Algorithm
      • f) Powerful Analysis Software
        - Accurate Surface Characterization
    • mark3D光學影像顯微量測複合儀 (2.5D Profile Projector)
      • 廠牌
      • 3D Family VM-250
      • 規格
      • 1、 X/Y/Z三軸光學尺
      • 2、OVM-Lite版光學影像量測軟體
      • 3、精度:3+L/200μm
      • 4、CCD: 3DFAMILY CCD
      • 5、鏡頭: 三目金相顯微鏡頭(5X/10X/20X/40X/60X)
      • 介紹
      • 3D光學影像金像顯微量測複合儀是將精銳的光學顯微鏡技術、先進的光電轉換技術、尖端的電腦影像處理技術、精確的三維光學量測完美地結合在一起的一項高科技產品。可以在電腦顯示器上很方便地觀察金相圖像，從而對金相圖譜進行分析，評級等。同時結合光學影像量測系統，可以對工件進行高精確度的光學量測，並可以以EXCEL、WORD、TXT格式輸出做資料分析，並可以用DFX格式輸出在CAD中進行工程圖的設計。
  • iconElectronic Measurements:
    • mark數位示波器 (Digital Oscilloscope)

      • 示波器.jpg (20153 bytes)

    • mark邏輯分析儀 (Logic Analyzer)

      • 邏輯分析儀.jpg (18382 bytes)

    • mark函數產生器 (Function Generator)
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